2024年上半年，國家標準委頒布了5項電子氣體國家標準：GB/T 43771-2024《電子氣體 一氧化碳 》，GB/T 43772-2024《電子氣體 二氧化碳》和GB/T 43773-2024《電子氣體 羰基硫》于2024年3月15日頒布，2024年10月1日 起正式實施。GB/T 43976-2024 《電子氣體 四氟甲烷》和GB/T 43977-2024《電子氣體 八氟環(huán)丁烷》于 2024年4月25日頒布，2024年11月1日 起正式實施。

電子氣體是半導體工業(yè)中使用的關鍵材料，其質量和純度直接影響芯片制造的效率和成品率。電子氣在蝕刻、沉積、清洗等半導體制造工藝中起著至關重要的作用。電子氣不僅是半導體制造的基礎保障，更是推動科技進步和行業(yè)發(fā)展的關鍵力量。其應用范圍廣泛，包括晶圓制造、顯示器生產和太陽能電池等領域，支撐著眾多高科技產業(yè)的發(fā)展。

電子氣體的質量和純度檢測主要采用氣相色譜等分析儀器。

GB/T 43773-2024《電子氣體 羰基硫》

標準規(guī)定按照 GB/T 28726《氣體分析-氦離子化氣相色譜法》規(guī)定的切割進樣的方法測定羰基硫中氫、氧＋氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、硫化氫、二氧化硫、二硫化碳含量。

GB/T 43976-2024 《電子氣體 四氟甲烷》

標準規(guī)定按照 GB/T 28726《氣體分析-氦離子化氣相色譜法》規(guī)定的切割（除）進樣的方法測定四氟甲烷中氫、氧＋氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫、六氟乙烷、八氟丙烷、三氟一氯甲烷、三氟甲烷含量。

GB/T 43977-2024《電子氣體 八氟環(huán)丁烷》

標準規(guī)定按照 GB/T 28726《氣體分析-氦離子化氣相色譜法》規(guī)定的切割（除）進樣的方法測定八氟環(huán)丁烷中的氧＋氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟丙烯含量。

GB/T 43771-2024《電子氣體 一氧化碳 》

標準規(guī)定按照 GB/T 28726《氣體分析-氦離子化氣相色譜法》規(guī)定的方法測定一氧化碳中的氫、氧＋氬、氮、二氧化碳含量。

GB/T 43772-2024《電子氣體 二氧化碳》

標準規(guī)定按照 GB/T 28726《氣體分析-氦離子化氣相色譜法》規(guī)定的切割進樣的方法測定二氧化碳中的氫、氧＋氬、氮、一氧化碳含量。