高純氣是研究氣體純度分析與其中痕量雜質(zhì)測(cè)定的專(zhuān)業(yè)學(xué)科，氣體純度分析采用扣除雜質(zhì)的差減法計(jì)算，氣體純度分析實(shí)際是對(duì)氣體中微量或者痕量的氣體檢測(cè)。高純氣包括：高純H2, O2, N2, CO, CO2等永久性氣體；高純He, Ne, Ar, Kr, Xe,等稀有氣體；高純Cl2, H2S, NH3, PH3, SiH4等特種氣體。隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的高速發(fā)展，石油化工生產(chǎn)，半導(dǎo)體工業(yè)，環(huán)境分析和科學(xué)研究等對(duì)高純氣不僅在數(shù)量上、質(zhì)量上、種類(lèi)上都不斷提出新的要求，氣體純度越來(lái)越高。

氣相色譜脈沖氦離子化檢測(cè)器PDHID，靈敏度高，性能穩(wěn)定，其能放出高能光子能量(17.7eV)，為通用型檢測(cè)器，是檢測(cè)分析痕量氣體的利器。公司自成立以來(lái)，一直積極應(yīng)對(duì)石化、高純氣體、工業(yè)氣體等行業(yè)的需要，及時(shí)提供整體解決方案，滿(mǎn)足用戶(hù)應(yīng)用需求。

圖1 PDHID檢測(cè)器分析高純氬氣中微量雜質(zhì)

圖2 PDHID檢測(cè)器分析高純氦氣中微量雜質(zhì)5ppm（Ne 檢測(cè)限0.02ppm）