電感耦合等離子體質(zhì)譜具有檢出限低、動態(tài)線性范圍寬、譜線簡單、干擾少、分析精密度高、分析速度快、可提供同位素信息等特性，是實驗室不可或缺的儀器。而若想保證其正常運行與工作，需要對其進行合理的保養(yǎng)與維護。
 
　　透鏡
 
　　透鏡可將接口提取的離子流聚焦稱散角盡量小的離子束以滿足質(zhì)量分析器的工作要求，長期使用后就容易積累一些沉積物。而離子透鏡被污染的標(biāo)志有兩種，一是透鏡電壓的增高，二是低質(zhì)量數(shù)元素穩(wěn)定性變差。如果出現(xiàn)以上情況，可以拆下透鏡組件，將其浸入裝有2.5%硝酸溶液的燒杯中超聲清潔2-5分鐘，在用去離子水清洗后待其徹底干燥后安裝。
 
　　真空泵系統(tǒng)
 
　　真空泵系統(tǒng)油機械泵和渦旋分子泵組成。因分析樣品不同，泵油使用周期不等，故而應(yīng)經(jīng)常檢查泵中油的高度和泵油的顏色，若泵油顏色由淺黃色變至深黃色時，就需要更換泵油。
 
　　循環(huán)冷卻水裝置及空氣過濾網(wǎng)
 
　　如果循環(huán)冷卻水裝置前面的紅色警示燈亮，表明循環(huán)水裝置中的冷卻液位置低于正常水平，此時就需要補充冷卻液；因冷卻液pH應(yīng)保持在6.5-8.5，溫度在15-30℃，壓力為241-414kPa，故而應(yīng)當(dāng)定期觀察冷卻液顏色，當(dāng)變成淡綠色時，證明亟需更換冷卻液；而用于過濾空氣中塵粒的空氣過濾網(wǎng)也應(yīng)及時清洗和更換。
 
　　四級桿分析器
 
　　電感耦合等離子體質(zhì)譜的四級桿分析器是由四個平行的導(dǎo)電棒組成的質(zhì)量過濾器，只有滿足質(zhì)荷比要求的目標(biāo)離子才能在任意時刻通過質(zhì)譜儀，不符合要求的較大離子或較小離子均會被四級桿過濾掉，故而不需要日常維護。

檢測器

檢測器在使用一段時間之后會有“疲勞效應(yīng)”，導(dǎo)致靈敏度下降，作為消耗品，檢測器也無需進行保養(yǎng)。