電感耦合等離子體質(zhì)譜是一種以獨(dú)特的接口技術(shù)將電感耦合等離子體的高溫電離特性與四級(jí)桿質(zhì)譜計(jì)相結(jié)合而形成的一種主要用于測定超痕量元素和同位素比值的儀器，是由離子體發(fā)生器、霧化室、矩管、四極質(zhì)譜儀、快速通道電子倍增管 ( 離子探測器或收集器 ) 組成。

該技術(shù)具有樣品制備和進(jìn)樣技術(shù)簡單、檢出限低、動(dòng)態(tài)線性范圍寬、譜線簡單、干擾少、分析精密度高、分析速度快、能同時(shí)測定多種元素、基體效應(yīng)小等優(yōu)點(diǎn)，被公認(rèn)為是理想的無機(jī)元素分析方法，故而現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于各個(gè)檢測領(lǐng)域。近年來，隨著國家對(duì)環(huán)保工作的日益重視，電感耦合等離子體質(zhì)譜儀在地表水、地下水、生活污水等環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域，尤其是環(huán)境重金屬分析方面發(fā)揮著越來越重要的作用。

電感耦合等離子體質(zhì)譜儀工作原理是霧化器將溶液樣品送入等離子體光源中，在高溫下汽化下電離出離子化氣體，通過銅或鎳取樣錐收集的離子在低真空壓力下形成分子束，再通過1-2毫米直徑的截取板進(jìn)入四極桿質(zhì)譜分析器，經(jīng)濾質(zhì)器質(zhì)量分離后，到達(dá)離子探測器，便可按照荷質(zhì)比進(jìn)行半定量分析，或者是按照特定荷質(zhì)比的離子數(shù)目進(jìn)行定量分析測出元素的含量或同位素比值。

作為無機(jī)分析領(lǐng)域的利器，電感耦合等離子質(zhì)譜儀的使用頻率十分高，為此對(duì)儀器的定期維護(hù)十分重要：操作人員應(yīng)該定期檢查機(jī)械泵的油位及顏色，添加或更換泵油；定期打開機(jī)械泵的振氣閥使油氣過濾器中的泵油流回泵中；一般半年就應(yīng)更換一次循環(huán)水等。